据麦姆斯咨询报道，自矽睿科技（简称“QST”）六轴IMU芯片QMI8610于2018年5月正式发布以来，经过一年多的努力，矽睿科技通过与业界领先的纯MEMS代工厂Silex Microsystems（简称“Silex”）的深度合作，成功实现了六轴惯性传感器（IMU）芯片MEMS 晶圆的多批Wafer Lots批量投片、产品验证及规模量产。
采用TSV技术的单芯片六轴MEMS IMU（Single-die 6-Axis MEMS with TSV technology）
QST IMU器件在业界第一个采用了硅通孔（TSV）技术，将厚单晶硅可动结构层真空键合在TSV层和盖板层之间，相对其他惯性传感器技术具有更强的缩减尺寸的潜力。QST MEMS独特的制造工艺实现了双气压腔和优越的单质量块陀螺仪/加速度计设计，在提高可靠性、减少MEMS传感元件的尺寸和成本的同时，在消费类IMU产品里实现了最低的噪声。
作为一家拥有自主核心技术的MEMS传感器公司，矽睿科技在国内首家实现了六轴IMU芯片的规模量产，截至2019年9月底，已累计出货超过一百万颗。
针对此次合作的成功，Silex CEO Dr. Edvard K?lvesten表示：“作为一家纯MEMS代工厂，Silex拥有成熟的TSV等工艺技术及先进的制造设备，我们很高兴能与QST深度合作，共同促成六轴IMU产品的规模量产。Silex除持续对位于瑞典的8寸MEMS晶圆厂进行追加投入外，位于北京亦庄的新的MEMS 8寸Fab 也将于近期开始试生产。我们期待对QST这样的战略合作伙伴提供进一步更有力的支持。”
矽睿科技CEO孙臻表示：“六轴IMU芯片的市场需求非常强劲，同时增长迅速，特别是在消费电子产业发展迅速的亚太及中国市场。QST的消费级六轴IMU芯片具备低噪声等性能上的竞争优势。迄今为止，QST的IMU MEMS 设计已在数家MEMS晶圆厂实现量产，相信此次MEMS工艺优化及规模量产的成功，为QST大规模市场推广IMU传感器产品提供了产能上的进一步保证。”
六轴IMU芯片QMI8610简介：
QST六轴IMU：QMI8610
QST QMI8610集成了3轴陀螺仪和3轴加速度计，是一款完整的6D MEMS惯性测量单元（IMU），该产品广泛应用于平衡车，云台，无人机，智能手机及可穿戴，机器人等消费电子产品领域。自去年5月发布及推广以来已得到了客户的广泛认可。
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